学科主题半导体材料
金属有机源MOMBE分子束外延设备和MBE-IV型分子束外延设备
孔梅影; 孙殿照; 梁基本
获奖类别国家科技进步奖
获奖等级二等奖
1993
关键词Mombe分子束外延
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11042
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
孔梅影,孙殿照,梁基本. 金属有机源MOMBE分子束外延设备和MBE-IV型分子束外延设备. 1993.
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