学科主题半导体材料
硅材料原生缺陷图谱、硅材料诱生缺陷图谱
张一心
获奖类别国家科技进步奖
获奖等级三等奖
1992
关键词硅材料
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11020
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
张一心. 硅材料原生缺陷图谱、硅材料诱生缺陷图谱. 1992.
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