学科主题半导体器件
单层金属工艺条件下高密度布线设计
庄文军; 高春华; 程可行; 牛征虎; 刘新平
获奖类别院科技进步奖
获奖等级三等奖
1988
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/10980
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
庄文军,高春华,程可行,等. 单层金属工艺条件下高密度布线设计. 1988.
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