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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: The effect of AlN growth time on the electrical properties of Al0.38Ga0.62N/AlN/GaN HEMT structures
作者: Wang CM;  Wang XL;  Hu GX;  Wang JX;  Xiao HL;  Li JP
发表日期: 2006
摘要: Al0.38Ga0.62N/AIN/GaN HEMT structures have been grown by metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) on 2-inch sapphire substrates. Samples with AIN growth time of 0s (without AIN interlayer), 12, 15, 18 and 24s are characterized and compared. The electrical properties of two-dimensional electron gas (2DEG) are improved by introducing AIN interlayers. The AIN growth time in the range of 12-18s, corresponding to the AIN thickness of 1-1.5 nm, is appropriate for the design of Al0.38Ga0.62N/AIN/GaN HEMT structures. The lowest sheet resistance of 277 Omega sq(-1) and highest room temperature 2DEG mobility of 1460 cm(2)V(-1) s(-1) are obtained on structure with AIN growth time of 12s. The structure with AIN growth time of 15s exhibits the highest 2DEG concentration of 1.59 x 10(13) cm(-2) and the smallest RMS surface roughness of 0.2 nm. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.
KOS主题词: Electron gas;  atomic layer deposition;  Modulation-doped field-effect transistors;  Heterostructures;  Passivity;  Oxidation;  Aluminum oxide;  Field;  Gases
刊名: JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Wang CM; Wang XL; Hu GX; Wang JX; Xiao HL; Li JP .The effect of AlN growth time on the electrical properties of Al0.38Ga0.62N/AlN/GaN HEMT structures ,JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH,2006,289(2):415-418
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