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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Electro-optic coefficients of Si0.75Ge0.25/Si/Si0.5Ge0.5 asymmetric superlattice measured by polarization-maintaining fiber-optic Mach-Zehnder interferometer
作者: Zhao L (Zhao L.);  Tu XG (Tu X. G.);  Zuo YH (Zuo Y. H.);  Chen SW (Chen S. W.);  Wang QM (Wang Q. M.)
发表日期: 2006
摘要: Ten-period 5.5 nm Si0.75Ge0.25/10.3 nm Si/2.5 nm Si0.5Ge0.5 trilayer asymmetric superlattice was prepared on Si (001) substrate by ultrahigh vacuum chemical vapor deposition at 500 degrees C. The stability of Mach-Zehnder interferometer was improved by utilizing polarization-maintaining fibers. According to the electro-optic responses of the superlattice with the light polarization along [110] and [-110], respectively, both electro-optic coefficients gamma(13) and gamma(63) of such asymmetric superlattice were measured. gamma(13) and gamma(63) are 2.4x10(-11) and 1.3x10(-11) cm/V, respectively, with the incident light wavelength at 1.55 mu m. (c) 2006 American Institute of Physics.
KOS主题词: Wave guides;  Heterostructures;  INTERFACES;  switch;  atomic layer deposition
刊名: APPLIED PHYSICS LETTERS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Zhao L (Zhao L.); Tu XG (Tu X. G.); Zuo YH (Zuo Y. H.); Chen SW (Chen S. W.); Wang QM (Wang Q. M.) .Electro-optic coefficients of Si0.75Ge0.25/Si/Si0.5Ge0.5 asymmetric superlattice measured by polarization-maintaining fiber-optic Mach-Zehnder interferometer ,APPLIED PHYSICS LETTERS,2006 ,89(14):Art.No.141104
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