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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Effect of oxidation on the optical and surface properties of AlGaN
作者: Wang XL (Wang X. L.);  Zhao DG (Zhao D. G.);  Chen J (Chen J.);  Li XY (Li X. Y.);  Gong HM (Gong H. M.);  Yang H (Yang H.)
发表日期: 2006
摘要: The chemical properties of AlxGa1-xN surfaces exposed to air for different time periods are investigated by atomic force microscopy (AFM), photoluminescence (PL) measurement and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). PL and AFM results show that AlxGa1-xN samples exhibit different surface characteristics for different air-exposure times and Al contents. The XPS spectra of the Al 2p and Ga 2p core levels indicate that the peaks shifted slightly, from an Al-N to an Al-O bond and from a Ga-N to a Ga-O bond. All of these results show that the epilayer surface contains a large amount of Ga and Al oxides. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.
KOS主题词: Oxidation;  Surface contamination;  Oxides
刊名: APPLIED SURFACE SCIENCE
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Wang XL (Wang X. L.); Zhao DG (Zhao D. G.); Chen J (Chen J.); Li XY (Li X. Y.); Gong HM (Gong H. M.); Yang H (Yang H.) .Effect of oxidation on the optical and surface properties of AlGaN ,APPLIED SURFACE SCIENCE ,2006 ,252(24):8706-8709
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