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SEMI OpenIR  > 中科院半导体材料科学重点实验室  > 期刊论文

题名: Effects of annealing treatment on the formation of CO2 in ZnO thin films grown by metal-organic chemical vapor deposition
作者: Zheng GL;  Yang AL;  Wei HY;  Liu XL;  Song HP;  Guo;  Y;  Jia CH;  Jiao CM;  Yang SY;  Zhu QS;  Wang ZG
发表日期: 2010
KOS主题词: Metal organic chemical vapor deposition;  Infrared radiation;  Surface;  Epitaxy
刊名: APPLIED SURFACE SCIENCE
专题: 中科院半导体材料科学重点实验室_期刊论文

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Zheng GL, Yang AL, Wei HY, Liu XL, Song HP, Guo, Y, Jia CH, Jiao CM, Yang SY, Zhu QS, Wang ZG.Effects of annealing treatment on the formation of CO2 in ZnO thin films grown by metal-organic chemical vapor deposition.APPLIED SURFACE SCIENCE,2010,256(8):2606-2610
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